半導体デバイスの高性能化に貢献「令和２年度全国発明表彰　発明賞」を受賞低比重・低熱膨張コージェライト材料の開発

京セラ株式会社（社長：谷本 秀夫、以下京セラ）は、半導体デバイスの製造に使用される半導体露光装置※のウェハーステージ用に、京セラが独自に開発・実用化した低比重・低熱膨張コージェライト（特許第57625

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