AIとIoTで半導体製造の高度化を目指す – AEC/APC Symposium Asia 2019 第1回 デジタルツインで新たな価値を創造する半導体製造のAEC/APC

2017-08-24_00h03_35 IT総合
AI/IoTを活用して先進的半導体製造装置制御・プロセス制御(Advanced Equipment Control/Advanced Process Control:AEC/APC)をさらに高度化して

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