昭和電工、第2世代となる高品質SiCエピウェハを開発

昭和電工は、SiCエピウェハの6インチ(150mm)品として、現在量産出荷中の低欠陥グレード「ハイグレードエピ(HGE)」をさらに高品質化した第2世代品「HGE-2G」を開発したと発表した。
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