短パルスレーザーでシリコン基板の内部のみを加工し光学素子(回折格子)の作製に成功

芝浦工業大学(東京都港区／学長 村上 雅人)工学部機械工学科の松尾 繁樹教授、徳島大学大学院社会産業理工学研究部の直井 美貴教授らの研究グループは、完全に透明ではない短い波長のレーザーを用いて、シリコ

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