名城大など、高出力の深紫外LED/半導体レーザー向け基板剥離技術を開発

名城大学と三重大学の両者は10月30日、同月17日に開発に成功したことを発表した、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である「縦型AlGaN系深紫外半導体レーザー」に関連

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