UCPSS 2023 第3回 GAA構造形成のためのSiGe選択エッチ、パターン倒壊、環境対策に脚光

9月にベルギーで開催された半導体洗浄・クリーン化技術に特化した国際シンポジウム「UCPSS 2023」では、公募で採択された51件の発表が行われた。その中から注目を集めた論文を紹介しよう。
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