銅配線をルテニウム配線に変えると抵抗を25%削減できる IEDM 2024レポート IT総合 2025.02.03 今回のIEDM2024第6弾で紹介するのは"Subtractive Ruthenium Interconnects with Airgap"である。Source: 週刊アスキーリンク元
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