銅配線をルテニウム配線に変えると抵抗を25%削減できる IEDM 2024レポート

2017-08-24_00h03_35 IT総合
今回のIEDM2024第6弾で紹介するのは"Subtractive Ruthenium Interconnects with Airgap"である。
Source: 週刊アスキー

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