EVG、バックエンドリソグラフィ向けマスクレス露光技術を開発

オーストリアに本拠を置く半導体製造装置メーカーであるEV Group(EVG)は、先端パッケージング向けに新しいマスクレス露光技術(MLE:Maskless Exposure)を開発し、近く発売を予定

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