京セラ、シリコンMEMS市場へ参入 – 水晶を超す特性を実現

京セラは2月13日、独自のシリコンMEMSレゾネータ製品化技術を確立したことを背景に、新たにシリコンMEMS市場へ参入することを明らかにした。
同技術は、独自の素子設計とドーピング技術を有するフィン

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