世界初のコインよりも小さなモノシリックスピーカーがMEMS技術により誕生

コンピューターで使われるCPUなどの半導体製品は、微細加工技術によってシリコンダイに回路パターンを転写して製造されており、その微細加工技術で製造したミクロン単位の部品からなる機械は「微小電気機械システ

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