韓国半導体装置メーカーがメタルCVD装置を国産化、韓国で進む装置の国産化 IT総合 2020.11.04 韓国でSEMESに次ぐ2番目に大きな半導体製造装置メーカーWonik IPSが、東京エレクトロン(TEL)が寡占していた半導体前工程(ウェハ処理工程)用のメタルCVD装置を国産化したと韓国の電子産業業リンク元
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