業界初のハイブリッドタイプのウエハー裏面洗浄装置=SCREEN〔BW〕

【ビジネスワイヤ】半導体洗浄装置大手のＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ（京都市上京区）は、業界初のハイブリッドタイプのウエハー裏面洗浄装置「ＳＢ－３３００」を開発したと発表した。新装置はウ

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