アプライド マテリアルズ　EUVによる2Dスケーリングと3D GAAトランジスタを可能にする技術を発表

[アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社]
スピンオン パターニング膜に代わるStensar™ CVDで2D EUVロジックスケーリングを拡張
2つの新しいIMS™システ

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