ADI、高い周波数でも低ノイズを実現したMEMS加速度センサを発表

Analog Devices(ADI)は5月10日、高い周波数においても低ノイズ性能を発揮することで、振動を高分解能で計測し、機械設備や機器の不具合の早期検知を可能にする3軸MEMS加速度センサ「AD

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