NIMS×理科大など、隠れた物性情報を引き出す新しい電子顕微鏡技術を開発

物質・材料研究機構(NIMS)は、電子ビームを使った顕微鏡において、電子のエネルギーがゼロに近い領域から高エネルギーまでの広いエネルギー範囲で、ナノ薄膜を一度に計測する新発想の汎用の分光顕微鏡技術を開

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