Plasma-ThermがSiCパワーMOSFET製造向け新型RTP装置を日本企業から追加受注

Plasma-Thermは、自動車および電気自動車(EV)向けで使用されるSiCパワーMOSFETデバイス用のヒートパルスRTP(急速熱処理)システムを日本の大手パワーデバイスメーカーから追加受注した

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