9月にベルギーで開催された半導体洗浄・クリーン化技術に特化した国際シンポジウム「UCPSS 2023」では、51件の一般応募講演のほか、2件の基調講演と3件の招待講演が行われた。
imec主催の半導体洗浄分野の国際会議「UCPSS 2023」がプログラムを発表
基調講演の1件は、筆者が31年前の第1回会議で基調講演した縁もあり、「半導体クリーニング技術の過去・現在・未来」と題して、1947年にト
Source: グノシーIT
UCPSS 2023 第2回 最先端半導体プロセスにおけるエッチングと洗浄技術の課題を議論
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