UCPSS 2023 第2回 最先端半導体プロセスにおけるエッチングと洗浄技術の課題を議論

9月にベルギーで開催された半導体洗浄・クリーン化技術に特化した国際シンポジウム「UCPSS 2023」では、51件の一般応募講演のほか、2件の基調講演と3件の招待講演が行われた。
imec主催の半導体

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