AMATとウシオ電機、線幅2μm対応のチップレット向けデジタルリソグラフィ装置を共同開発

Applied Materials(AMAT)とウシオ電機は12月12日(米国時間)、3D ICパッケージ向けチップレットやヘテロジニアスインテグレーション(HI)のロードマップを加速することを目的と

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