アルバック、IGBTの性能向上を可能とするイオン注入装置2機種を発売

アルバックは7月6日、パワーデバイスであるIGBTに向けた、低加速・大電流イオン注入装置「SOPHI-30」ならびに高加速対応イオン注入装置「SOPHI-400」の2機種を発表した。
同社はこれまで

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