KLA-Tencor、新たなFlashScanレチクルブランクス検査製品ラインを発表

KLA-Tencorは8月17日、新たな光学＆EUVレチクルブランクス検査用FlashScan検査製品ラインを発表した。
「FlashScan」は、光学または極紫外線(EUV)リソグラフィ用に設計さ

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