半導体露光用スペクトル幅制御技術を開発=ギガフォトン〔BW〕

【ビジネスワイヤ】半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン（栃木県小山市）は、スペクトル幅制御技術「ｈＭＰＬ」を開発したと発表した。ｈＭＰＬは、スペクトル幅ターゲット値を従来の３００ｆｍ（フェム

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