真空紫外線放射を実現するプラズマ方式・水銀フリー紫外線面光源を開発

合同会社紫光技研(所在地：兵庫県淡路市、代表社員：篠田 真帆)は、独自技術のプラズマ方式水銀フリー深紫外線面光源UV-SHiPLA(シプラ)の発光を短波長側に大幅拡張する新技術を開発し、200nm以下

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