日立ハイテクとPicosun、マイクロ波ECRプラズマを用いたALDを共同で開発

日立ハイテクノロジーズとフィンランドPicosunは1月30日、プラズマを利用した原子層堆積(Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition:PE-ALD)装置を共同で

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