大型液晶パネル製造用の新型KrFエキシマレーザー=ギガフォトン〔BW〕

【ビジネスワイヤ】半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン（栃木県小山市）は、大型液晶パネルの製造向け新型ＫｒＦ（フッ化クリプトン）エキシマレーザーの開発に成功したと発表した。新型レーザーは、半

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