Samsung、EUVによる5nmプロセスの開発を完了 – サンプル出荷が可能に IT総合 2019.04.18 Samsung Electronicsは4月16日、EUVリソグラフィを用いた5nm FinFETプロセス技術の開発が完了し、顧客へのサンプル出荷に対応する準備が整ったと発表した。同社のEUV 5リンク元
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