加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功

[NTTアドバンステクノロジ株式会社]
【概要】
東京工業大学の益一哉学長（科学技術振興機構（JST）ナノエレクトロニクスCREST代表者）らとNTTアドバンステクノロジ（注）は複数の金属層で形成され

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