ArFエキシマレーザーの最新製品を発表=ギガフォトン〔BW〕

【ビジネスワイヤ】半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン（栃木県小山市）は、ＡｒＦ（フッ化アルゴン）エキシマレーザーの最新製品「ＧＴ６５Ａ」を発表した。ＧＴ６５Ａは液浸露光プロセスの微細化を支

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