東北大、ロボットが人にやさしく触れるための超小型集積化触覚センサを開発

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)は、「先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム」の協働企業と共同で、MEMS(Micro Electro Mechanical Syst

リンク元